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| Microsystemtechnik |
| Alles ist Medizin und nichts ist Medizin -
allein die Dosis machts... |
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| Die Mikrosystemtechnik (MST) erstellt
technische (Sub-)Systeme, deren funktionsbestimmende Strukturen
Abmessungen im Mikrometerbereich haben. Sie grenzt sich ab
von der Nanotechnologie, die sich mit funktionsbestimmenden
Strukturen beschäftigt, deren laterale Abmessungen im
Nanometerbereich liegen. |
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| Sowohl Mikrosystemtechnik als auch Nanotechnologie überschneiden
sich mit der Dünnschichttechnologie, bei der funktionsbestimmende
Strukturen vertikale Abmessungen im Nanometerbereich haben
und lateral ausgedehnt sind. |
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Die Mikrosystemtechnik kombiniert
Methoden der Mikroelektronik, der Mikromechanik, der Mikrofluidik
und der Mikrooptik, aber auch Entwicklungen der Informatik,
Biotechnologie und Nanotechnologie, indem sie Entwicklungen
und Strukturen aus diesen Bereichen zu neuen Systemen vereinigt.
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| In diesen Systemen wirken Sensoren, Aktoren
und Datenverarbeitung zusammen. prominentes Beispiel sind
optische Sensoren in kabellosen Mäusen, oder auch die
Bubble-Jet Druckköpfe moderner Drucker, die Mikrometerfeine
Düsen mit Heizelementen kombinieren, zum Teil sogar
mit eigener Intelligenz im Druckkopf. |
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| Weitere Anwendungsbeispiele sind Beschleunigungs
Sensoren zur Auslösung von Airbags, Drehraten-Sensoren
für Überrollbügel, Instrumente der minimal-invasiven
Chirurgie wie Endoskopsysteme oder chemische Sensoren für
die Lebensmittelüberwachung. |
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